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        篤摯儀器(上海)有限公司
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        技術支持

        日本三豐Surftest表面粗糙度測量儀小知識

        更新時間:2020-05-11   點擊次數:3892次

        JIS B 0601:2013 (ISO 4287:1997) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–術語、定義及表面紋理參數
        JIS B 0632:2001 (ISO 11526:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–位相補償濾波器的特征
        JIS B 0633:2001 (ISO 4288:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–表面紋理的評價的規則和程序
        JIS B 0651:2001 (ISO 3274:1996) 產品幾何技術規范(GPS)-表面形狀:輪廓法–接觸(測針式)測量儀的標稱特性。

        接觸式表面粗糙度測量儀的特征 JIS B 0651 : 2001 (ISO 3274 : 1996)

        三豐粗糙度儀測量原理示意圖:

        測針形狀
        理想的測針形狀是圓錐型,為球形
        半徑:rtip = 2 μm, 5 μm, 10 μm
        圓錐角度:60º, 90º
        在理想表面粗糙度測量中,除特別規定以外,每個圓
        錐角的角度都是 60º

        靜態測量力
        測針平均位置的測力:0.75mN
        測力的標稱變化率:0N/m
        標準特性值:測針平均值的靜態測力

        測針曲率
        標稱半徑μm
        測針在平均位置
        的靜態測量力
        mN
        靜態測量力變化的
        公差率
        mN /μm
        20.750.035
        50.75 (4.0)注10.2
        10

        注1 對于特殊結構探測器 (包括一個可更換測頭),在平均位置靜態測量力的大值為 4.0mN。

        截止波長值與測針半徑之間的關系
        如下表所列,測針半徑rtip 的標準值與對應于截止波長
        標準值的粗糙度截止波長比率之間的關系

        λc
        (mm)
        λs
        (μm)
        λc/λs大rtip
        (μm)
        大取樣間隔
        (μm)
        0.082.53020.5
        0.252.510020.5
        0.82.53002注10.5
        2.583005注21.5
        82530010注25

        注1: 對于Ra>0.5μm或Rz>3μm的表面,通??梢允褂胷tip=5μm的測針,
        在測量結果中沒有明顯差別。
        注2: 當截止波長λs為2.5μm或8μm時,與推薦測針針尖半徑的測針(觸針)機械濾波所產生的衰減特性將位于定義的傳輸帶之外。因此,測針的半徑或者形狀上的微小誤差不會影響到測量中參數的計算。如果需要特殊的截止波長比率,須。

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